首页> 中国专利> 由SiC鳍或纳米线模板制造的石墨烯纳米带和碳纳米管

由SiC鳍或纳米线模板制造的石墨烯纳米带和碳纳米管

摘要

从碳化硅(SiC)鳍或纳米线的模板提供半导体结构,所述半导体结构包括沿晶向取向的平行石墨烯纳米带或碳纳米管。首先提供SiC鳍或纳米线,然后通过退火在所述鳍或所述纳米线的暴露表面上形成石墨烯纳米带或碳纳米管。在其中形成闭合的碳纳米管的实施例中,纳米线在退火之前被悬置。所提供的石墨烯纳米带和碳纳米管的位置、取向和手征性由形成该石墨烯纳米带和碳纳米管所使用的对应碳化硅鳍和纳米线确定。

著录项

  • 公开/公告号CN103503147B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2016-05-25

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 国际商业机器公司;

    申请/专利号CN201280018940.2

  • 申请日2012-03-05

  • 分类号H01L29/15(20060101);

  • 代理机构11247 北京市中咨律师事务所;

  • 代理人贺月娇;于静

  • 地址 美国纽约

  • 入库时间 2022-08-23 09:40:29

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-11-21

    专利权的转移 IPC(主分类):H01L 29/15 登记生效日:20171102 变更前: 变更后: 申请日:20120305

    专利申请权、专利权的转移

  • 2017-11-21

    专利权的转移 IPC(主分类):H01L 29/15 登记生效日:20171102 变更前: 变更后: 申请日:20120305

    专利申请权、专利权的转移

  • 2016-05-25

    授权

    授权

  • 2016-05-25

    授权

    授权

  • 2014-02-12

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 29/15 申请日:20120305

    实质审查的生效

  • 2014-02-12

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 29/15 申请日:20120305

    实质审查的生效

  • 2014-01-08

    公开

    公开

  • 2014-01-08

    公开

    公开

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