公开/公告号US9397195B2
专利类型
公开/公告日2016-07-19
原文格式PDF
申请/专利权人 GLOBALFOUNDRIES INC.;
申请/专利号US201314064830
申请日2013-10-28
分类号H01L29/775;H01L29/66;H01L21/3105;H01L21/306;H01L21/02;H01L21/324;B82Y10;B82Y40;H01L29/06;H01L29/10;H01L29/16;H01L51;H01L21/28;H01L29/78;H01L51/05;B82Y99;
国家 US
入库时间 2022-08-21 14:31:27