用于加热晶圆的除溢散气设备

摘要

一种用于加热晶圆的除溢散气设备，包含：一承载装置，包括多个分别固定多个晶圆的承托座；多个加热模块，各该加热模块包括多个加热灯管及其位置对准一该承托座；以及一温度控制系统，包括多个分别量测该等晶圆的温度的测温仪，及多个能根据该等晶圆被量测到的温度以分别调整该等加热模块的加热温度的温度控制器。