公开/公告号CN206304902U
专利类型实用新型
公开/公告日2017-07-07
原文格式PDF
申请/专利权人 深圳市柏志兴环保科技有限公司;
申请/专利号CN201621323957.0
发明设计人 秦学进;
申请日2016-12-05
分类号
代理机构北京国坤专利代理事务所(普通合伙);
代理人黄耀钧
地址 518000 广东省深圳市宝安区松岗街道山门第二工业区右边第六栋一楼101
入库时间 2022-08-22 02:41:44
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-07-07
授权
授权
机译: 除臭过滤单元和带集尘器的除臭功能
机译: 带集尘器的异物清除功能
机译: 使用指示至少一种尖端到尖端的短路或泄漏,至少一种尖端到一侧的短路或泄漏,以及至少一侧到另一侧的短路或泄漏的非接触电测量来处理半导体晶片的方法,其中使用具有带束偏转功能的带电粒子束检查器从带尖端到尖端短,尖端到侧面短测试和侧面到侧面短测试区域的单元中获得此类测量结果阶段