一种单驱动刚柔耦合精密运动平台

摘要

本实用新型公开了一种单驱动刚柔耦合精密运动平台，包括机座、直线导轨、刚柔耦合运动平台、直线驱动器及位移传感器，其中刚柔耦合平台包括刚性框架、柔性铰链和核心运动平台；所述刚柔耦合平台的核心运动平台通过柔性铰链与所述刚性框架连接。如此设置，本实用新型公开的单驱动刚柔耦合精密运动平台，其能够实现平台的高精度连续变化位移，避免了加速度突变导致的位移“抖动”。