公开/公告号CN102031498B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-05-18
原文格式PDF
申请/专利权人 中微半导体设备(上海)有限公司;
申请/专利号CN201010595109.6
发明设计人 尹志尧;
申请日2010-12-17
分类号
代理机构上海智信专利代理有限公司;
代理人王洁
地址 201201 上海市浦东新区金桥出口加工区(南区)泰华路188号
入库时间 2022-08-23 09:40:16
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-04-09
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C23C 16/30 变更前: 变更后: 申请日:20101217
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2016-05-18
授权
授权
2016-05-18
授权
授权
2011-06-15
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C16/30 申请日:20101217
实质审查的生效
2011-06-15
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/30 申请日:20101217
实质审查的生效
2011-04-27
公开
公开
2011-04-27
公开
公开
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