毛细管放电Z箍缩极紫外光源的紧凑型主脉冲放电电源

摘要

毛细管放电Z箍缩极紫外光源的紧凑型主脉冲放电电源，涉及电源，为了解决现有主脉冲放电电源的体积庞大的问题，电网的三相电压输出端的三端分别与高压调压器三相电压输入端的三端相连，高压调压器的输出端与高压变压器的输入端相连，高压变压器的输出端与主脉冲主放电电源主体的电压输入端相连，主脉冲主放电电源主体的初级高压输出端与脉冲压缩装置的电压输入端相连，控制柜的控制信号输出端一与主脉冲主放电电源主体的控制信号输入端相连，控制柜的控制信号输出端二与脉冲压缩装置的控制信号输入端相连。本实用新型的电源结构紧凑，装置简单，便于应用，适用于为极紫外光源提供电源。