等离子体尺寸对放电极紫外光源影响

摘要

计算了放电等离子体极紫外光刻光源中,不同等离子体长度条件下的收集效率,实验上研究了等离子体长度对Xe气放电极紫外辐射的影响.结合本系统光学收集系统设计参数和理论计算结果,给出了不同等离子体长度条件下中间焦点处13.5 nm(2％带宽)光功率.结果表明等离子体长度为3～6 mm时毛细管光源中间焦点光功率和尺寸最优.