基于PSD和楔形平晶微分干涉法的晶圆表面检测装置

摘要

基于PSD和楔形平晶微分干涉法的晶圆表面检测装置，属于光学检测领域，本实用新型为解决现有精密晶圆检测仪器精度不够高、检测步骤繁琐、耗时的问题。本实用新型是激光通过空间滤波器、会聚透镜、偏振片入射至分束器分为垂直方向的光和水平方向的光：垂直方向的光通过反射镜、会聚透镜入射至晶圆样品，反射光通过1/4波片、楔形平晶光被PSD1、PSD2接收；水平方向的光入射至分束器分为垂直S光和水平P光：垂直S光通过楔形平晶、显微物镜，入射至晶圆样品表面反射，反射光通过显微物镜、楔形平晶，入射至分束器分为垂直S光和水平P光：垂直S光通过1/4波片、检偏器、滤光器被CMOS图像传感器接收。用于检测晶圆表面缺陷。