硅微通道散热GaN微波功率器件

摘要

本实用新型涉及硅微通道散热GaN微波功率器件，包括GaN微波功率器件本体、Si微通道散热器和焊料层，其中Si微通道散热器的底部开设有多个微通道，GaN微波功率器件本体通过焊料层与Si微通道散热器远离多个微通道的表面粘接。本实用新型结构简小，散热效率高。