基于气体分子插层耦合调控的微纳米电子器件

摘要

本实用新型公开了一种基于微纳米结构与基底耦合调控的微纳米电子器件，包括一基底及一微纳米结构层，其中，进一步包括一气体分子插层位于所述基底与微纳米结构层之间。通过控制在微纳米结构与基底之间注入气体分子，可对于微纳米电子器件中微纳米结构与基底界面的电、热性能进行有效调控。