公开/公告号CN204524702U
专利类型实用新型
公开/公告日2015-08-05
原文格式PDF
申请/专利权人 山东华云机电科技有限公司;
申请/专利号CN201520181919.5
发明设计人 王阳;
申请日2015-03-27
分类号
代理机构济南日新专利代理事务所;
代理人王书刚
地址 250101 山东省济南市高新区新泺大街1166号奥盛大厦1号楼21层
入库时间 2022-08-22 00:43:41
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-08-05
授权
授权
机译: 加工零件外圆表面的方法和执行相同零件的装置
机译: 在表面研磨机上研磨外圆的方法及应用所述方法的装置
机译: 用于开发处理晶圆整体表面的均匀性的方法,该晶圆具有高的均匀性,一种计算机存储介质以及一种基板处理装置