一种气体质量流量计的标定装置

摘要

本实用新型涉及一种气体质量流量计的标定装置，包括高纯氮气源、高压调节阀、流量控制仪器、标准流量计及被校流量计接入端；所述高纯氮气源的气体通过管路与被校流量计接入端I相连，在高纯氮气源与被校流量计接入端I之间的管路上依次设有高压调节阀、进气阀门和进气压力表；被校流量计接入端II通过管道与标准流量计相连，标准流量计上设有排气管；所述被校流量计的接入端III连接有流量控制仪。本实用新型结构简单、操作可靠、准确性高。