一种动静混合镀膜系统

摘要

本实用新型涉及一种动静混合镀膜系统，包括静态镀膜系统和动态镀膜系统；静态镀膜系统包括静态镀膜腔室、第一镀膜组件以及第一传输组件；所述往复扫描的距离是零或者是任何小于相邻靶材间距的距离；动态镀膜系统包括动态镀膜腔室、第二镀膜组件以及第二传输组件。本实用新型系统和方法能对基板进行镀膜且镀膜均匀、能够防止对静电敏感器件造成静电损伤。