A special type of vacuum coating has been developed mainly to allow the coating of plastics but also for use with temperature-sensitive metal alloys. Using a combination of laser evaporation and magnetron sputtering, it is possible to carry out vacuum coating at room temperature with deposition rates of 100 nm/min, a value that qualifies for the designation of high-speed coating. In addition, this process achieves values of adhesion to substrate hitherto only obtained when operating at 200 to 400 deg C. A further benefit is the uniform loss of metal from the rotating targets thereby making best possible use of expensive target materials.%Vor allem der Wunsch zur Beschichlung von Kunststoffen, aber auch von warmempfiudlichen Metalllegierungen, hat die Entwicklung einer speziellen Vakuumbeschichtungstechnik beeinflusst. Durch Kombination der Laserverdampfung mit einer Magnetronzerslau-bung ist es moglich, eine Vakuumbeschichtung bei Raumtemperatur durchzufuhren, bei der die Beschichtungsraten mit 100 mn/min im Bereich der Hochratebeschichtung liegen. Zudem erzielt man dabei Haftungswerte, die bisher nur mit Bcschichtungen bei 200 bis 400 deg C erzielbar waren. Ein weiterer Vorteil ift die gleichmassige Abarbeitung der rotierenden Targets, wodurch sich bei teureren Targetwerkstoffen eine gute Effizienz ereibt.
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