一种动静混合镀膜系统及利用其进行动静混合镀膜的方法

摘要

本发明涉及一种镀膜系统及镀膜方法，尤其涉及一种动静混合镀膜系统及利用其进行动静混合镀膜的方法。动静混合镀膜系统，包括静态镀膜系统和动态镀膜系统；静态镀膜系统包括静态镀膜腔室、第一镀膜组件以及第一传输组件；所述往复扫描的距离是零或者是任何小于相邻靶材间距的距离；动态镀膜系统包括动态镀膜腔室、第二镀膜组件以及第二传输组件。动静混合镀膜方法包括两种模式，第一种是先静态镀膜再动态镀膜，然后垂直平移反向出来，平移以后不镀膜；第二种是先进到最里面的腔室，垂直平移后静态镀膜，再反向出来动态镀膜，最后从低真空室出来。本发明系统和方法能对基板进行镀膜且镀膜均匀、能够防止对静电敏感器件造成静电损伤。