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用于掩膜版外观检查的夹具

摘要

本实用新型实施例公开了一种用于掩膜版外观检查的夹具,包括支架、设于支架上的框架及固定组件;所述支架两端设有轴孔,所述框架两端凸设有匹配容置于所述轴孔中的转轴,固定组件包括旋转定位盘和固定销,所述旋转定位盘固设于转轴末端并随转轴同步旋转,旋转定位盘的周缘设有第一定位孔,固定销穿过所述第一定位孔并抵于所述支架上以将所述框架固定于预定角度。本实用新型实施例通过在支架和框架支架设置固定组件,以将框架固定于预定角度,从而再无需人工手持掩膜版,大大降低了劳动强度,具有轻松方便、安全高效的效果;此外,通过在框架上平行设置可固定于预定位置以卡持掩膜版的滑杆,从而适用于不同大小的掩膜版,具有适应性强的效果。

著录项

  • 公开/公告号CN204209590U

    专利类型实用新型

  • 公开/公告日2015-03-18

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 深圳市路维光电股份有限公司;

    申请/专利号CN201420684942.1

  • 发明设计人 杜武兵;林伟;黄国勇;

    申请日2014-11-14

  • 分类号

  • 代理机构深圳市维邦知识产权事务所;

  • 代理人黄莉

  • 地址 518000 广东省深圳市南山区朗山路16号华瀚创新园办公楼D座102

  • 入库时间 2022-08-22 00:30:58

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2015-03-18

    授权

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