掩膜版表面灰尘杂质检测系统设计

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第一章 绪 论

1.1掩膜版表面检测目的和意义

1.2国内外现状

1.2.1 国内外掩膜技术发展

1.2.2 视觉检测技术的发展现状

1.2.3 视觉检测的应用领域

1.2.4 掩膜版检测技术的研究现状

1.3论文章节安排

第二章 检测系统的机械结构设计

2.1概述

2.2掩膜版托臂的设计

2.3伺服系统的设计与电机选型

2.4滚珠丝杠的设计

2.5联轴器

2.6本章小结

第三章 掩膜版表面图像获取系统设计

3.1LED光源的选择

3.1.1光的折射，透射、反射

3.1.2直射光和漫射光

3.2摄像机的选型（图像传感器）

(1)CCD传感器和 COMS传感器

(2)摄像机的的分辨率

(3) 快门速度

(4) 光学镜头

3.3测距传感器

3.4压力传感器

3.5本章小结

第四章 基于LabVIEW的图像数据处理软件设计

4.1检测图像的数据处理

4.1.1 图像的灰度处理

4.1.2应用直方图均衡化实现图像增强

4.2检测系统的虚拟仪器设计

4.3前面板的设计

4.3.1图像显示面板的设计

4.3.2直方图参数显示

4.3.3直方图显示界面

4.4检测图像数据处理程序

4.5仿真与结果分析

4.5.1摄像机检测到的原图像

4.5.2灰度直方图

4.5.3颜色平面抽取

4.6本章小结

第五章 结论

致 谢

参考文献

攻读学位期间参加科研情况及获得的学术成果