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验证沟槽滤棒特征参数机器视觉检测结果准确度的标准板

摘要

本实用新型公开一种验证沟槽滤棒特征参数机器视觉检测结果准确度的标准板,包括一基板,基板正面光刻有一底涂层,底涂层中具有一个以上间隔设置的标准沟槽滤棒图案;每个标准沟槽滤棒图案均由一空白无底涂层的圆孔,及一沿该圆孔的圆周间隔光刻的多个小涂层块构成;所述小涂层块设置在圆孔内,且小涂层块与圆孔圆周具有一定间距设置。本实用新型标准板解决了目前无法验证沟槽滤棒特征参数机器视觉检测准确度的问题,且该标准板还具有结构简单,制作和应用成本低廉,使用过程操作简便,具有量值溯源等诸多优点。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-07-20

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01B11/22 授权公告日:20141224 终止日期:20170701 申请日:20140701

    专利权的终止

  • 2014-12-24

    授权

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