ITO蚀刻用草酸溶液的配制装置

摘要

本实用新型公开了一种ITO蚀刻用草酸溶液的配制装置。使用该配制装置时，过量草酸晶体和去离子水投放于溶解装置中，通过加温，形成浓缩的过饱和溶液，再经第一出液管内高温过滤、进入缓存装置，最后从缓存装置进入稀释装置再按比例稀释即可配制成所需浓度的草酸溶液。上述配制装置实现了ITO蚀刻用草酸溶液的高效配制、且不易引入杂质。稀释时只需按照比例稀释，无需进行检测浓度、只需温控，生产效率得以提高。另外，与直接配制成所需成品浓度相比，通过浓缩液稀释，大大增加了生产能力、降低了装置容量要求。