基于离轴显微干涉术的微结构测试系统及方法

摘要

一种基于离轴显微干涉术的微结构测试系统及方法，包括激光光源，在激光光源的输出光轴上设置有分光器件，在分光器件的一条光输出轴上设置有第一准直扩束器，第一准直扩束器的光输出轴上设置有分光棱镜，在分光器件的另一条光输出轴上设置有第一反射镜，第一反射镜的反射光轴上设置有第二准直扩束器，第二准直扩束器的光输出轴上设置有第二反射镜，第二反射镜的反射光轴对应分光棱镜，第一准直扩束器通过分光棱镜输出的光路上设置有用于照射被测样本和收集被测样本表面反射物光的显微物镜，分光棱镜的输出光路上对应设置用于光电转换的CCD，CCD的另一端点连接数字图像采集卡。本发明仅需要一幅干涉图即可达到微结构表面形貌测量的目的，能够实现实时动态测试。