公开/公告号CN203281398U
专利类型实用新型
公开/公告日2013-11-13
原文格式PDF
申请/专利权人 江西添光化工有限责任公司;
申请/专利号CN201320237801.0
申请日2013-05-06
分类号B02C23/02(20060101);B02C19/06(20060101);
代理机构36115 南昌新天下专利商标代理有限公司;
代理人施秀瑾
地址 344000 江西省抚州市抚北镇安塘路4号
入库时间 2022-08-21 23:56:50
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-02-25
专利权的转移 IPC(主分类):B02C23/02 变更前: 变更后: 登记生效日:20150203 申请日:20130506
专利申请权、专利权的转移
2013-11-13
授权
授权
机译: 金属有机汽化和进料装置,金属有机化学汽相沉积装置,金属有机化学汽相沉积方法,气体流量调节器,半导体制造装置和半导体制造方法
机译: 金属有机汽化和进料装置,金属有机化学汽相沉积装置,金属有机化学汽相沉积方法,气体流量调节器,半导体制造装置和半导体制造方法
机译: 金属有机汽化和进料装置,金属有机化学汽相沉积装置,金属有机化学汽相沉积方法,气体流量调节器,半导体制造装置和半导体制造方法