用于测量气体与液体压力的硅压阻式MEMS压力传感器

摘要

用于测量气体与液体压力的硅压阻式MEMS压力传感器，属于压力传感器应用技术领域。本实用新型解决了现有MEMS气体压力传感器抗氧化性与耐腐蚀性差的问题。本实用新型为轴对称结构，它的第一玻璃体为圆柱形结构，硅橡胶薄膜覆盖并固定在该第一玻璃体的下端面，单晶硅为圆桶形，单晶硅开口一侧的端面的与第一玻璃体的上端面固定连接，硅橡胶薄膜、单晶硅和第一玻璃体形成密闭的空间为应力杯，第二玻璃体为圆桶形，单晶硅的桶底外侧与第二玻璃体的开口侧端面固定连接，单晶硅和第二玻璃体之间形成的密闭空间为真空腔，单晶硅的桶底外侧面经光刻生成电阻应变片电桥电路，单晶硅、第一玻璃体和第二玻璃体同轴。本实用新型适用于测量气体和液体的压力。