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一种铬基三层金属膜石英晶体微天平传感器

摘要

本实用新型提供了一种铬基三层金属膜石英晶体微天平传感器,该传感器包括一个石英晶体片(1),所述石英晶体片(1)表面是镀铬膜层(2),所述镀铬膜层(2)表面是镀银膜层(3),所述镀银膜层(3)表面是镀金膜层(4),形成一种基于铬基三层金属膜的石英晶体微天平传感器。本实用新型的效果和益处在于所述铬基三层金属膜石英晶体微天平传感器具有制作简单、成本低廉、灵敏度高、抗腐蚀性和稳定性好等优点。

著录项

  • 公开/公告号CN203101211U

    专利类型实用新型

  • 公开/公告日2013-07-31

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 长沙理工大学;

    申请/专利号CN201320090128.2

  • 申请日2013-02-28

  • 分类号

  • 代理机构

  • 代理人

  • 地址 410004 湖南省长沙市雨花区万家丽南路二段960号长沙理工大学化学与生物工程学院

  • 入库时间 2022-08-21 23:51:45

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2015-04-15

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01N5/02 授权公告日:20130731 终止日期:20140228 申请日:20130228

    专利权的终止

  • 2013-07-31

    授权

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