基于玻璃基离子交换掩埋光波导的集成光学芯片

摘要

本实用新型涉及一种基于玻璃基离子交换掩埋光波导的集成光学芯片，该集成光学芯片主要由玻璃衬底和离子交换掩埋光波导组成；所述的离子交换掩埋光波导位于玻璃衬底内部，与玻璃衬底上表面的距离为0～7500μm。制法包括以下步骤：镀膜、光刻、腐蚀、去胶、一次交换、二次交换、划片、研磨抛光。与现有技术相比，本实用新型可减小芯片的偏振依赖性以及消除芯片的内部应力，具有寿命长、稳定可靠等优点。