法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-11-05
避免重复授权放弃专利权 IPC(主分类):G01N21/01 授权公告日:20120711 放弃生效日:20141105 申请日:20111124
避免重复授权放弃专利权
2012-07-11
授权
授权
机译: 辐射系统,辐射收集器,辐射束调节系统,用于辐射系统的光谱纯度滤光片和形成光谱纯度滤光片的方法
机译: 辐射系统辐射收集器辐射束调节系统辐射系统的光谱纯度滤光片和形成光谱纯度滤光片的方法
机译: 辐射系统,辐射收集器,辐射束调节系统,用于辐射系统的光谱纯度滤光片和形成光谱纯度滤光片的方法