法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-12-07
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L29/872 授权公告日:20120606 终止日期:20151018 申请日:20111018
专利权的终止
2012-06-06
授权
授权
机译: 通过使用相同的方法制造(铟,镓,锌,氧化物靶标和铟,镓,锌,氧化物靶标)
机译: 铟,镓,锌,氧化物靶材的制造方法,以及由此可以制造未分离的单个靶材的铟,镓,锌,氧化物靶材的方法
机译: 可用于溅射沉积的溅射靶包括铟,锌和镓的氧化物的混合物和铟,锌和镓的三元混合氧化物