基于场发射冷阴极的阵列X射线源

摘要

本实用新型公开了一种基于场发射冷阴极的阵列X射线源，该X射线源包括阴极基板（1）、阴极电极（11）、用于发射电子束（7）的场致发射体(12)、反射式阳极靶(13)；其中，在阴极基板（1）上设有阴极电极（11）,在阴极电极（11）上设有场致发射体(12),反射式阳极靶(13)位于阴极基板（1）上方且与阴极基板（1）相对设置，反射式阳极靶(13)与阴极基板(1)平行；场致发射体(12)发射出的电子束（7）轰击到反射式阳极靶(13)上，产生的X射线（8）穿过阴极基板(1)出射。本实用新型提供的基于场发射冷阴极的阵列X射线源用于小型化和便携式X射线诊断仪，也可以应用于阵列X射线源的扫描成像。