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公开/公告号CN201749248U
专利类型实用新型
公开/公告日2011-02-16
原文格式PDF
申请/专利权人 富士胶片株式会社;
申请/专利号CN201020279209.3
发明设计人 永利由纪子;
申请日2010-07-28
分类号G02B17/08(20060101);G02B27/18(20060101);G03B21/28(20060101);G03B21/10(20060101);
代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;
代理人李贵亮
地址 日本国东京都
入库时间 2022-08-21 23:16:37
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-08-21
专利权有效期届满 IPC(主分类):G02B17/08 授权公告日:20110216 申请日:20100728
专利权的终止
2011-02-16
授权
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机译: 反射型投射光学系统及具备该反射型投射光学系统的曝光装置
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