应用于硅片化学机械抛光设备中的机械手终端夹持执行器

摘要

提供了一种应用于硅片化学机械抛光设备中的机械手终端夹持执行器，所述终端夹持执行器主要采用真空夹持技术，包括吸附口、真空通道、夹持主体和转动连接头等部件。利用真空发生器，通过夹持主体中的真空通道是否处于真空状态，来实现该终端夹持执行器对硅晶片的吸附夹持与松脱。真空夹持技术具有高效率、无污染、定位精度高等优点，且执行器结构简单，操作方便，维修便利，对硅片的损伤小，所以将此项技术应用在硅晶片化学机械抛光设备中是很合适的。