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电子束照射窗

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摘要

现有的窗框按压板不能将窗箔及密封线均匀地按压，为此本实用新型提供一种电子线照射装置的电子束照射窗，通过在窗箔按压板的外周周缘部顶住窗框一侧设置突出的突起，可使其在整个周长均匀地被按压。

1. 电子束照射窗 [P] . 中国专利： CN201440340U . 2010.04.21
2. 电子束照射方法、电子束照射装置及记录有程序的计算机可读的非易失性存储介质 [P] . 中国专利： CN110517954A . 2019-11-29
3. Irradiation window structure of the double window type electron beam irradiation apparatus [P] . 日本专利： JPH0733200Y2 . 1995-07-31

机译：双窗型电子束照射装置的照射窗结构
4. Irradiation window structure of the double window type electron beam irradiation apparatus [P] . 日本专利： JPH0429900U . 1992-03-10

机译：双窗型电子束照射装置的照射窗结构
5. Electron beam irradiation device, a multi-electron-beam irradiation device, an electron beam exposure apparatus, and electron beam irradiation method [P] . 日本专利： JP6018386B2 . 2016-11-02

机译：电子束照射装置，多电子束照射装置，电子束曝光装置以及电子束照射方法