硅衬底外延片去边装片器

摘要

本实用新型提供一种硅衬底外延片去边装片器，该装片器用于解决使破片与圆片一起置于磷酸槽内去边腐蚀的问题，以提高效率。该装片器包括有栅格槽的篮体，所述篮体包括至少一个上篮体、至少一个下篮体和一个用于提起篮体的提杆；上篮体和下篮体结构相同，上篮体和下篮体上设有沿中心轴呈放射状分布的所述栅格槽；上篮体和下篮体相扣在一起使它们的栅格槽相对，合形成容置外延片的圆片槽；提杆与篮体连接。栅格槽用于间隔和托住圆片。本实用新型应用于硅衬底LED外延片的生产过程，可以提高大大提高破片的腐蚀效率，也节约了磷酸和提高了工作人员的操作安全性，使硅衬底外延片的去边腐蚀工艺得到很大改善。