法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-10-22
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01N27/22 授权公告日:20090603 终止日期:20130821 申请日:20080821
专利权的终止
2009-06-03
授权
授权
机译: 电容电平传感器接口介质传感器元件电容传感器,电极电容传感器壳体监测系统流量测量介质,容器用于工艺,一种组装电容传感器的方法,用电容式传感器测量界面介质的方法,以及电容式传感器和连接耦合的方法 适用于容量传感器电极外壳
机译: 电容电平传感器接口介质传感器元件电容传感器,电极电容传感器壳体监测系统流量测量介质,容器用于工艺,一种组装电容传感器的方法,用电容式传感器测量界面介质的方法,以及电容式传感器和连接耦合的方法 适用于容量传感器电极外壳
机译: 一种制造MEMS电容式麦克风的MEMS方法及由该方法制造的MEMS电容式麦克风