大口径钕玻璃表面疵病的激光散射检测装置

摘要

一种大口径钕玻璃表面疵病的激光散射检测装置，包括置放待测光学元件的X－Y精密步进平台；在所述X－Y精密步进平台的法线方向和待测光学元件的上方，自下而上同光轴地依次设置第二平面反射镜、散射光收集光阑、散射光收集物镜、光纤组收集器，该光纤组收集器所收集的多路散射光信号经光纤组引入光电探测器阵列转化为多路电信号；一激光器，沿该激光器发出的激光束的方向同光轴地依次设置法拉第隔离器、扩束透镜、准直透镜、聚焦透镜、分光镜和第一平面反射镜，一台计算机，所述的光电探测器阵列收集的散射光信号转化为多路电信号，经过整形滤波后由高速数据采集卡输入该计算机；该计算机通过步进马达驱动X－Y精密步进平台运动。