一种基于平面电机与超磁致伸缩驱动器的精密定位平台

摘要

本实用新型公开了一种基于平面电机与超磁致伸缩驱动器的精密定位平台。将平面电机底座固定在基座上，平面电机动平台悬浮在平面电机底座上，微运动平台底座固定在平面电机动平台上，在同一块材料一体加工出来的柔性铰链与定位平台固定在微运动平台底座上，X向与Y向超磁致伸缩驱动器的输出杆相互垂直分别紧靠在定位平台的X向与Y向侧面，X向与Y向超磁致伸缩驱动器支座分别固定在微运动平台底座上。本实用新型能在大范围内实现快速移动，在小范围内实现高精度的位置调整；产生的驱动力大，可用于有较大负载的场合；平面电机采用的是悬浮结构，超磁致伸缩微驱动器驱动的是与柔性铰链一体加工的定位平台，使得整个结构避免了摩擦力的影响。