一种高分辨率微纳光学加速度计

摘要

本实用新型公开了一种高分辨率、大动态范围微纳光学加速度计。微光学波导阵列板或柱透镜阵列板设置在加速度计质量块上，波导阵列板上刻有条状透明波导阵列或在柱透镜阵列板上刻有条状透明柱透镜阵列，微纳米直径光纤的普通光纤段与光源耦合，输出段与阵列板平行或垂直靠近，光敏元件与微纳米直径光纤同轴设置，光敏元件的输出信号接在信号处理电路板的前置放大器的输入端，驱动器与加速度计质量块之间机械连接，信号处理电路板的信号输出端与驱动器电信号连接。本实用新型可将加速度计分辨率的数量级提高到10⁶左右，且动态范围大，结构简单，可靠性好。适用于要求高分辨率的场合如飞行器，车辆或船只的惯性制导，重力加速度的精密测量等。