具有双层锥形结构的刻蚀衍射光栅

摘要

本实用新型公开了一种具有双层锥形结构的刻蚀衍射光栅，包括至少一条输入波导、一个自由传输区(FPR)、一个蚀刻凹面光栅和至少一条输出波导，输入波导/输出波导均与FPR相连，蚀刻凹面光栅与FPR连成一体；至少一条输入波导从输入到输出由浅刻蚀区域、双层锥形结构组成；至少一条输出波导从输入到输出由双层锥形结构、浅刻蚀区域组成。本实用新型采用双层锥形结构来解决了传统的基于SOI脊型波导的波分复用器存在的插入损耗、通道串扰等问题。本实用新型便于与其他集成光波导器件连接，消除了垂直方向的多模干涉问题，不增加额外的工艺过程，弯曲部分可为深刻蚀，从而减小器件尺寸，提高集成度。