栅极结构及包含此结构的金氧半晶体管结构

摘要

本实用新型为一种栅极结构，包括：一基底，于该基底上形成有一栅介电层，于该栅介电层上形成有一第一栅导电层，该第一栅导电层中的晶粒排列为一无规则排列，于该第一栅导电层上形成有一第二栅导电层，该第二栅导电层中的晶粒排列为一柱状排列。本实用新型的范围更包括含有前述栅极结构的金氧半晶体管结构。