栅极结构及包含此结构的金氧半晶体管结构及其制造方法

摘要

本发明为一种栅极结构，包括：一基底，于该基底上形成有一栅介电层，于该栅介电层上形成有一第一栅导电层，该第一栅导电层中的晶粒排列为一无规则排列，于该第一栅导电层上形成有一第二栅导电层，该第二栅导电层中的晶粒排列为一柱状排列。本发明的范围更包括含有前述栅极结构的金氧半晶体管结构及其制造方法。