制备碳纳米管薄膜的等离子体增强光热化学气相沉积设备

摘要

本实用新型公开了一种制备碳纳米管、碳纳米线、纳米纤维薄膜的等离子体增强光热化学气相沉积设备，包括真空室内的红外加热器、石英窗、射频等离子体平板电极、匀气腔、导流罩、样品台、磁耦合转轴、保护气入口等。将等离子体CVD的真空室和光热CVD的真空室合为一室。等离子体工艺和光热CVD工艺可单独进行或同时进行；用射频电源和平板电极产生等离子体，完成催化剂的活化功能，红外加热器加热，完成碳纳米管的生长，两种工艺结合在一起；红外加热器位于真空室中样品台上方，加热器和样品台之间有石英窗隔离，样品台的转动由磁耦合传动实现。其结构简单，工作可靠，可低温大面积均匀制备碳纳米管或碳纤维，可用于碳纳米管平板显示器的商业化生产。