机译:微波等离子体增强化学气相沉积法制备致密碳纳米管薄膜
Nano Factory, Department of Electrical and Electronic Engineering, Meijo University, Shiogamaguchi, Tempaku, Nagoya 468-8502, Japan;
carbon nanotube; plasma CVD; microwave plasma; laser ablation; Co catalyst;
机译:使用微波等离子体增强化学气相沉积法快速生长致密,对准的双壁碳纳米管薄膜
机译:微波等离子体化学气相沉积法制备致密的碳纳米管薄膜
机译:微波等离子体增强化学气相沉积在碳纳米管制造中的研究进展:综述
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机译:通过微波等离子体增强化学气相沉积(MPECVD)合成和表征金刚石薄膜。
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