机译:微波等离子体增强化学气相沉积法制备有机薄膜晶体管的碳纳米管的电学和结构性能
School of Information & Communications Engineering, Sungkyunkwan University, Suwon 440-746, Republic of Korea;
School of Information & Communications Engineering, Sungkyunkwan University, Suwon 440-746, Republic of Korea;
Department of Photoelectronics Information, Chosun College of Science and Technology, Gwangju 501-744, Republic of Korea;
Carbon nanotube; Microwave plasma enhanced chemical vapor; deposition; Substrate bias voltage; Raman; Sheet resistance;
机译:碳纳米管薄膜晶体管的电学性质,采用等离子体增强化学气相沉积法,通过扫描探针显微镜测量
机译:通过水辅助等离子体增强化学气相沉积使用优先生长的半导体单壁碳纳米管网络的薄膜晶体管
机译:退火温度对表面波微波等离子体化学气相沉积法生长的氮化非晶碳薄膜的光学,键合,结构和电性能的影响
机译:液态金属有机化学气相沉积法制备铁电PbZr_xTi_(1-x)O_3(PZT)薄膜的结构和电学性质的研究
机译:通过等离子体增强的金属有机化学气相沉积法制得的锶钛氧化物和钡(1-x)锶钛氧化物外延薄膜。
机译:等离子体增强原子层沉积在低温下沉积的HfO2薄膜的结构光学和电学性质
机译:远程等离子体增强金属有机化学气相沉积法生长Al掺杂ZnO薄膜过程中电学和结构性能的演变