公开/公告号CN2339999Y
专利类型
公开/公告日1999-09-22
原文格式PDF
申请/专利权人 景通科技股份有限公司;
申请/专利号CN97229889.4
发明设计人 李哲迪;
申请日1997-12-19
分类号G02B26/02;
代理机构72002 永新专利商标代理有限公司;
代理人刘国平
地址 中国台湾
入库时间 2022-08-21 22:39:31
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2001-01-31
专利权的终止未缴年费专利权终止
专利权的终止未缴年费专利权终止
1999-09-22
授权
授权
机译: 曝光设备和装置的制造方法,包括改变光源的光强度分布,并根据该改变来调整基板上的照度分布。
机译: 如何更改成像设备的主动射线照射装置和照度分布并暂时固化
机译: 如何改变成像设备的主动光照射装置和照度分布及临时固化。