缺陷控制近红外敏感非晶硅光敏层的液晶光阀

摘要

一种缺陷控制近红外敏感非晶硅光敏层的液晶光阀，在光学玻璃基板上镀有厚度为300～2000，电阻为2000～20Ω/□，对可见光及近红外光透过率分别达到90％和80～85％的ITO导电膜；在ITO导电膜上镀有光波长敏感范围在0.4～2.0μm，可见光及近红外光波段范围光/暗电导比分别达到10