高亮度、高分辨率大屏幕液晶光阀投影机中光电导层和反射层的研究

摘要

该文主要工作有两部分:光电导层(a-Si:H)的制备工艺;介质反射镜的设计及制备;对于光电导层主要是从从理论上分析了液晶光阀光电导层对光电阻、暗电阻、厚度这三个参数的要求,并分析了它对分辨率的影响,最后是如何从工艺条件下达到a-Si:H薄膜性能要求.介质反射镜方面首先进行介绍了光学薄膜的设计理论,用MATLAB进行编程模拟λ/4介质膜系多层高反射膜,并介绍了它的制备原理,测试方法,作者所设计的反射镜采用了SiO<,2>/TiO<,2>高低折射率交替λ/4介质膜系,最终制得了反射率高达99.5﹪~99.8﹪的介质反射镜,这在性能上完全能够满足液晶光阀的要求.

目录

摘要

Abstract

第一章引言

§1.1概述

§1.2液晶光阀的结构与特性

第二章光电导层(a-Si：H)的研制

§2.1 a-Si：H的制备原理

§2.2 a-Si：H的性能与制备工艺条件的关系

第三章液晶光阀中反射层的设计

§3.1光学薄膜的基本理论

§3.2反射层的设计

第四章反射膜的制备

§4.1真空镀膜机

§4.2膜厚控制方法

§4.3制备过程

结束语

致谢

参考文献