质谱计与真空计复合电源

摘要

质谱计与真空计复合电源属于一种可以进行真空度测量的小型质谱计。质谱计电源通过转换开关变换成谱通热阴极电离真空计电流，它既保持了质谱计的原有功能，又可以配用普通热阴极电离真空计规管作精确真空度测量。解决了在质谱计离子源中设置一个离子收集极，或用四极质谱计积分谱作真空度测量的不准确性等缺点。