公开/公告号CN103578988B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-03-16
原文格式PDF
申请/专利权人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;
申请/专利号CN201210254002.4
申请日2012-07-20
分类号H01L21/336(20060101);H01L29/78(20060101);H01L29/06(20060101);
代理机构11227 北京集佳知识产权代理有限公司;
代理人骆苏华
地址 201203 上海市浦东新区张江路18号
入库时间 2022-08-23 09:36:24
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-03-16
授权
授权
2014-03-12
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/336 申请日:20120720
实质审查的生效
2014-02-12
公开
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