分析动态随机存取存储器冗余位修复是否正确的方法

摘要

一种分析动态随机存取存储器冗余位修复是否正确的方法，是在利用冗余位修复工艺之后，用以侦测修复是否正确的方法，主要是利用一集中光束照射在晶片上的芯片，然后观察照射后显示于屏幕的物理位元图的影像，当光束对准缺陷的阵列位置时，屏幕显示出两个类似半圆形的亮区；而当光束对准用来作修复坏掉阵列的冗余位时，屏幕上会显示出一亮条纹。由上述的亮条纹与两半圆形的位置，即可侦测出利用冗余位修复工艺后是否正确达到修复的目的。