一种单斜相二氧化钒外延薄膜及其制备方法

摘要

本发明提供了一种单斜相二氧化钒外延薄膜及其制备方法，包括以下步骤：在真空条件下，将钒原子束和氧原子束喷射到衬底上进行反应，外延生长得到单斜相二氧化钒外延薄膜。本发明所制备的单斜相二氧化钒外延薄膜，具有较高的质量和较大的尺寸，而且宏观相变特征显著。