星用介质材料二次电子发射系数的测试方法和测试系统

摘要

本发明公布了一种星用介质材料二次电子发射系数的测试方法和测试系统，包括：将至少一个星用介质材料制成的测试样品置于样品台上，使用真空系统将样品台抽真空；开启电子枪，电子枪发射单个脉冲电子束，照射放在样品台上的入射电子测试法拉第筒，通过第一微电流计测得单个脉冲电子束的入射电流强度；旋转样品台，将任一测试样品置于单个脉冲电子束辐照下，利用二次电子收集极第二微电流计测得该测试样品的二次电子发射电流；通过比较入射电流强度和二次电子发射电流，即可获得样品的二次电子发射系数。本发明提供的测试方法和系统，具有获得一次高真空后，可开展多个测试样品的二次电子发射系数测试，提高了测试效率，具有测试精度高的优点。